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HMDS真空烘箱HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅軌蚝芎玫呐c光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用
晶圓烘箱,HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?,此疏水性能夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用。