晶圓烘箱外觀結構：

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理

★工作室內百級，采用進口 H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上

★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃

★門框密封采用無氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化

★隔板可調整高度及增減數量

晶圓烘箱風路系統：

★采用密封內循環(huán)風路，減少氮氣消耗

★采用倒U型風道結構設計，箱內兩側單向水平送風，風道倉內強壓送風

★特殊可調導風板設計，保障工作室內送風均勻

★大功率三相異步耐高溫長軸馬達，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調整）結合不銹鋼蝸牛殼結構結合兩側不銹鋼沖孔風板，風力強勁，送風均勻，平穩(wěn)，工作噪音<65dB

溫控系統：

★不銹鋼無塵加熱器，潔凈無塵

★PLC+7寸彩色觸摸屏，HMI人機交互系統，中文操作界面，全自動程序運行模式， PID智能演算，自動恒溫，超溫保護，傳感器斷線保護，斷電記憶功能，帶氧含量、溫度值，工作狀態(tài)（排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等）監(jiān)控界面、程序設定界面、歷史曲線界面、歷史數據功能，可通過USB導出數據，搭配PC端溫度數據處理軟件

★采用導軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準，穩(wěn)定性好

★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統：

★按鍵鎖

★超溫保護

★電流過載保護

★漏電保護

★接地保護

規(guī)格參數：