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無塵室氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象； 由于普通的干燥存儲(chǔ)柜或者氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，且無自凈功能，故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。

節(jié)能氮?dú)夤襁m用于對(duì)加熱中需要氮?dú)獗Ｗo(hù)或?qū)ρ鹾颗c工作室內(nèi)濕度有一定要求的產(chǎn)品及材料在恒溫或階梯溫度下進(jìn)行預(yù)熱、老化、烘烤、固化、淬火等工藝以及恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。

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